Eine Integrationstechnik auf Waferebene für Millimeterwel...
Der Aufbau von Modulen im Millimeterwellenbereich stellt sowohl an die Kosten als auch an die Strukturgenauigkeit der Aufbautechnik hohe Anforderungen. Um die Modulkosten gering zu halten kommt bei der Realisierung der integrierten Schaltungen eine kostengünstige SiGe-Technologie zum Einsatz. Dabei werden mit dem SiGe1-Prozess von ATMEL Schaltungen für den Frequenzbereich von 24GHz und 32GHz hergestellt. Die Schaltungen umfassen Oszillatoren und Mischen ...